液晶半導體設備
態度決定成敗

液晶CST Port自動開閉防塵門

產品簡介:適用于現有開放式Port增設防塵升級,以實現Port與FAB空間空氣對流隔絕.
產品詳情:產品適用于中小世代即設設備CST Port的改造升級用途,以提升潔凈度
伺服驅動,無二次發塵
輕便,高速(小于3秒開閉),高潔凈度
PLC控制

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